中國教育報-中國教育新聞網訊(記者 方夢宇)近日,中國科學技術大學孫海定教授聯(lián)合武漢大學劉勝院士團隊,成功研制出微型紫外光譜儀,并實現(xiàn)片上光譜成像。該光譜成像儀基于新型氮化鎵基級聯(lián)光電二極管架構,并與深度神經網絡算法融合,實現(xiàn)了高精度光譜探測與高分辨率多光譜成像,其光譜響應速度達到超快納秒級。相關成果于9月26日在線發(fā)表于《自然·光子學》。
微型紫外光譜儀三維器件結構示意圖。中國科學技術大學供圖
光譜信息被稱為物質的“光基因”,能夠揭示組成與特性。光譜成像技術可同時獲取光譜與空間信息,在成分分析、環(huán)境監(jiān)測、衛(wèi)星遙感和深空探測等領域具有重要價值。但傳統(tǒng)光譜儀依賴光柵分光和機械掃描,系統(tǒng)復雜、體積龐大、價格高昂,難以滿足便攜式和實時化檢測需求。尤其在對生物制藥和有機物檢測至關重要的深紫外/紫外波段,由于材料與工藝限制,片上微型紫外光譜成像技術長期處于空白,成為制約該領域發(fā)展的關鍵瓶頸。
為此,孫海定團隊聯(lián)合國內外研究學者提出了一種氮化鎵基級聯(lián)光電二極管架構,研制出工作于紫外波段的微型光譜成像儀,實現(xiàn)了高精度光譜探測與高分辨率多光譜成像。該結構由上下兩個不對稱p-n二極管垂直級聯(lián)組成,可在兩英寸和更大尺寸的晶圓上陣列化制備。器件通過外加偏壓調控載流子的波長依賴傳輸行為,實現(xiàn)電壓可調的雙向光譜響應,并結合深度神經網絡算法,可對未知光譜進行高精度重構。該光譜成像儀工作波段覆蓋250至365納米的紫外波段,光譜分辨率可達到0.62納米,約10納秒的超快響應速度?;诖?,研究團隊進一步實現(xiàn)片上光譜空間一體化成像陣列,并成功地對不同有機物質,如橄欖油、花生油、動物油脂和牛奶等液滴進行了空間分辨與單次直接成像,顯示出它們在食品檢測和分子識別等方面的應用潛力。
微型紫外光譜成像儀系統(tǒng)。中國科學技術大學供圖
該研究提出并實現(xiàn)了利用寬禁帶氮化物半導體作為微型光譜成像儀的材料載體。未來,通過調控材料組分和摻雜,或采用二六族和三五族半導體材料,該架構可以將工作范圍擴展至可見光和紅外波段。同時,由于工藝完全兼容現(xiàn)有大規(guī)模半導體制造工藝,器件尺寸還可縮小至亞微米甚至納米級,可實現(xiàn)更低成本更高分辨光譜成像。研究團隊預計,其成本有望降至傳統(tǒng)光譜儀的百分之一。正如硅基CCD/CMOS技術推動數(shù)碼相機普及一樣,這枚新型微型光譜成像儀的研制成功,為下一代小型化、便攜式和可穿戴光譜技術的普及提供了新的思路和解決方案。
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